洁净室的整厂规划(Turn Key Projects),因涉及范围极广,需建筑、水电、空调、环保、防震、制造等各项专业人才共同规划,尽管不少洁净室规划,多需要就于既有的建筑物,然而,为避免失误应尽可能事先确认下列事项:
1. 洁净度等级;
2. 室压的平衡措施;
3. 温湿度要求;
4. 机器设备的必要性;
5. 确定生产流程;
6. 局部排气的必要性;
7. 日后扩充弹性;
8. 足够维护保养空间;
9. 空调送风方式;
10. 员工休息区的安排;
11. 设施与动力的配置;
12. 室内净高与楼板载重;
13. 设备空间与管道间;
14. 门窗宜少,气密性要佳;
15. 静电、振动及噪音;
16. 生产线与活动线少交接;
17. 公害、污染与防灾;
18. 安装及运转成本之衡量。